当研究会では、研究集会一般講演の中から特に優れた講演に対してベストペーパーアワードを選び、表彰しております。
これまでの受賞者は、以下のとおりです。（敬称略）
（登壇者が筆答著者ではないものについては、登壇者名に*が付いています。）
（第9回からは、年齢・職業を問わない「ベストペーパーアワード」と学生の講演のみ対象の「スチューデントアワード」の２種類に分かれました。）

第１回研究集会（2004年）

• 佐々木 健次、宮沢 吉康、梶原 健二、山崎 太一、中島 義賢、花尻 達郎、鳥谷 部達、菅野 卓雄：
  「SOQ MOSFET 有用性の実験的検証」

第２回研究集会（2005年）

• 野村 研二、高木 章宏、神谷 利夫、太田 裕道、平野 正浩、細野 秀雄：
  「アモルファス酸化物半導体の材料探索と高性能透明フレキシブルTFT の室温作製」

第３回研究集会（2006年）

• 町田 絵美、池上 浩：
  「水中レーザーアニールによる薄膜Siの大粒径化」

第４回研究集会（2007年）

• 笠川 知洋、小野寺 亮、小嶋 明樹、木村 睦、原弘 幸、井上 聡：
  「Poly-Si TFTによるデバイスレベルのニューラルネットワーク」
• 葉 文昌、荘 淳鈞、柯 敦元：
  「Si 膜エキシマレーザ誘起横方向成長過程の実時間観測」
• 芦峰 智行、萱嶋 弘志、安田 剛、藤田 克彦、筒井 哲夫：
  「π共役オリゴマーの分子配向制御による有機薄膜トランジスタの高性能化」

第５回研究集会（2008年）

• 谷 真衣、池上 浩：
  「レーザー後方転写法によるSi薄膜の直接パターニング」
• 松原 亮介、酒井 正俊、工藤 一浩、熊谷 敦文、吉本 則之、中村 雅一：
  「微小角入射X 線回折によるペンタセン多結晶薄膜の面内結晶子サイズの評価およびその電子帯構造との関係」
• 西中 浩之、藤田 静雄：
  「ミストデポジション技術による深紫外線センサーの作製 ～リソグラフィーレス有機ポリマーのパターニングとアモルファスIGO～」

第６回研究集会（2009年）

• 田中 貴規、都甲 薫、佐道 泰造、宮尾 正信：
  「横方向溶融成長法による高移動度Ge単結晶/透明絶縁基板の形成」
• 太田 靖之、内田 全紀 、西岡 賢祐*：
  「超高効率InGaP/InGaAs/Ge薄膜三接合型太陽電池の温度特性解析」
• 高野 智輝、山内 博、飯塚 正明、中村 雅一、工藤一浩：
  「段差構造を利用した短チャネル有機トランジスタの高速動作」

第７回研究集会（2010年）

• 姜 明辰、土井 伊織、宮碕 栄吾、尾坂 格、瀧宮 和男：
  「Cn-DNTTを用いた高性能有機薄膜トランジスタの開発」
• 小出 浩貴、長尾 有記、河本 邦仁、加藤 丈晴、幾原 雄一、高崎 裕加、梅村 知也、太田 裕道：
  「新しい透明酸化物半導体薄膜トランジスタ：In₂MgO₄」
• 李 朝陽、松田 時宜*、川原村 敏幸、W. Dapeng、古田 寛、古田 守、一ノ宮 敬治、中西 洋一郎、平尾 孝：
  「ZnO薄膜蛍光体の形成とその発光中心導入過程」

第８回研究集会（2011年）

• 川原村 敏幸、王 大鵬、?? 太江、古田 守：
  「ミストCVD法によるIGZO TFTの作製」
• 酒池 耕平、小林 義崇、松原 良平、東 清一郎：
  「近赤外半導体レーザ光照射によるa-Si 膜の結晶化と同時転写技術」
• 中原 理恵、宇野 真由美、広瀬 友里、瀧宮 和男、竹谷 純一：
  「インプリント法を用いたフレキシブル三次元有機トランジスタの開発」
• 水野 拓、S. Zheng、加藤 丈晴、幾原 雄一、安部 勝美、雲見 日出也、野村 研二、細野 秀雄、太田 裕道：
  「酸化物半導体SrTiO₃に電界誘起された二次元電子ガスの巨大熱電能変調」

第９回研究集会（2012年）

ベストペーパーアワード

• 林 将平, 藤田 悠二, 上倉 敬弘, 酒池 耕平, 赤澤 宗樹, 東 清一郎：
  「大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるa-Si膜結晶化メカニズムの解明」
• 堂免　恵、羽生有一郎、安部 勝美、神谷 利夫、細野 秀雄：
  「アモルファス酸化物半導体a-IGZO TFTの定電圧ストレス試験: アニール温度依存性」

スチューデントアワード

• 戸松 康行、伊藤 光洋、松原 亮介、中村 雅一：
  「フレキシブル熱電変換素子にむけた有機薄膜のゼーベック係数評価：導電性ポリマーおびフラーレンの可能性探索」
• 戸田 達也、川原村 敏幸、古沢 浩、古田 守：
  「誘電泳動集積法による均一で高配向な単層カーボンナノチューブチャネルを用いた薄膜トランジスタ」
• 落合 慧紀、松原 亮介、大橋 昇、中村 雅一：
  「マイカ劈開面におけるペンタセン多結晶膜のエピタキシャル成長」

第１０回研究集会（2013年）

ベストペーパーアワード

• 大橋 賢次、野々口 斐之、河合 壯：
  「n型単層カーボンナノチューブ材料の作製と熱電変換モジュールの構築」

スチューデントアワード

• 竹之内 良太、王 大鵬、石井 林太郎、高橋 広己、久保田 高史、古田 守：
  「ZnSnO薄膜トランジスタにおけるMgOドーピング効果」
• 介田 忠宏、川原村 敏幸、古田 守：
  「オゾン支援ミストCVD法による高移動度(＞10cm²/Vs)IGZO TFT　～TFT特性のチャネル組成依存性～」
• 森崎 誠司、林 将平、上倉 敬弘、山本 将悟、酒池 耕平、赤澤 宗樹、東 清一郎：
  「大気圧マイクロ熱プラズマジェット結晶化Si膜を用いた薄膜トランジスタの微細化およびCMOS回路の高速駆動」
• 伊藤 光洋、岡本 尚文、小島 広孝、阿部 竜、松原 亮介、山下 一郎、中村 雅一：
  「コアシェル型分子を利用したカーボンナノチューブ接合部の電子準位制御による熱電特性の向上」

第１１回研究集会（2014年）

ベストペーパーアワード

• 片瀬 貴義、遠藤 賢司、太田 裕道：
  「電解誘起水素化による VO₂ 薄膜トランジスタの金属-絶縁体相制御」

スチューデントアワード

• 石川 恭兵、菊池 満帆、平松 秀典、 雲見 日出也、細野 秀雄、神谷 利夫：
  「不純物水素及び弱結合酸素がアモルファス In-Ga-Zn-O 薄膜トランジスタに与える影響」
• 赤澤 宗樹、酒池 耕平、中村 将吾、平松 和樹、中川 明俊、東 清一郎：
  「メニスカス力局所転写技術を利用したガラス基板上単結晶シリコン薄膜トランジスタの作製」

第１２回研究集会（2015年）

ベストペーパーアワード

• 是友大地、戸田達也、古田守：
  「In-Ga-Zn-O 薄膜トランジスタ におけるソース・ドレイン電極エッチ ングダメージが電界効果移動度に及ぼす影響」

スチューデントアワード

• Junghwan Kim、関谷拓実、渡邉脩 人、井手啓介、平松秀典、細野秀雄、 神谷利夫：
  「超ワイドギャップアモルファス 半導体: a-Ga₂O₃」
• 戸田 達也、古田 守：
  「水素導入 DC マグネトロンスパッタによる InGaZnO 薄膜の成膜と薄膜トランジスタ応用」

第１３回研究集会（2016年）

ベストペーパーアワード

• 山岸 健人、グレコ フランチェスコ、武岡 真司、藤枝 俊宣：
  「導電性高分子ナノシートの開発と超薄膜型生体電極としての応用」

スチューデントアワード

• 水上 隆達、竹島 真治、山下 知徳、東 清一郎：
  「中空構造SOI層を用いた低温転写における転写歩留まり向上とフレキシブル基板上での単結晶シリコンTFTと論理回路の作製」
• 鈴木 雄喜、片瀬 貴義、太田 裕道：
  「磁性と導電性を同時切替可能な全固体薄膜デバイスの作製」