「薄膜トランジスタ」書籍情報

 薄膜材料デバイス研究会組織委員が中心となり、薄膜トランジスタの教科書を執筆いたしました。


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  (薄膜材料デバイス研究会 編、 http://www.tfmd.jp)

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「薄膜トランジスタ」

編集: 薄膜材料デバイス研究会
出版: コロナ社
発行: 2008年11月
定価: 本体価格 3,000円 (税込み価格 3,150円)

目次

  1. 序論 ---------------------------- p.1
    1.1 薄膜トランジスタ(TFT)とはなにか
    1.2 TFT発展の歴史
  2. TFTの動作原理 ------------------- p.11
    2.1 基本的な動作原理
    2.2 基礎知識
    2.3 トラップ準位
    2.4 より詳しい動作原理
    2.5 種々のTFT
  3. TFT作製技術 --------------------- p.75
    3.1 トップゲート構造及びボトムゲート構造
    3.2 水素化非晶質シリコン作製技術
    3.3 多結晶シリコンTFT作製技術
    3.4 有機TFT作製技術
    3.5 酸化物TFT作製技術
  4. 評価技術 ------------------------- p.134
    4.1 膜厚
    4.2 構造評価技術
    4.3 組成分析
    4.4 光学評価
    4.5 電気特性
  5. TFTの劣化現象と信頼性評価技術 ------ p.176
    5.1 非晶質シリコンTFTにおける劣化現象
    5.2 低温多結晶シリコンTFTにおける劣化現象
    5.3 酸化物TFTにおける劣化現象
  6. TFTの応用技術 --------------------- p.188
    6.1 TFTのディスプレイ応用
    6.2 TFTのセンサ応用
  7. TFTの将来技術 --------------------- p.211
    7.1 映像ディスプレイ用TFT技術の将来
    7.2 フレキシブルディスプレイ用TFT技術の将来

 

執筆者(五十音順,所属は2008年9月現在)

執筆者名 所属 担当箇所
浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学 4.5節,5.2節
神谷利夫 東京工業大学 2.5.4項,3.5節,4.1節〜4.3節,5.3節
木村睦 龍谷大学 2章,6.2.1項,6.2.2項,6.2.4項
佐野直樹 (株) ハイテックシステムズ 4.4節
鮫島俊之 東京農工大学 1章,全体編集
清水耕作 日本大学 2.5.2項
竹知和重 日本電気(株)
(研究組合TRADIM)
2.5.2項,3.2節,5.1節
中村雅一 千葉大学 2.5.3項,3.4節,4章
東清一郎 広島大学 3章
古田守 高知工科大学 3.3.4項,6.1節,6.2.3項,7章
堀田将 北陸先端科学技術大学院大学 1章,全体編集