薄膜材料デバイス研究会組織委員が中心となり、薄膜トランジスタの教科書を執筆いたしました。

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「薄膜トランジスタ」　付録
（薄膜材料デバイス研究会　編、 http://www.tfmd.jp)

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• 2008/10/30初版　付録および役に立つデータ集 (PDFファイル、2Mbytes)

「薄膜トランジスタ」

編集：薄膜材料デバイス研究会
出版：コロナ社
発行：２００８年１１月
定価：本体価格　３，０００円 （税込み価格　３，１５０円）

目次

1. 序論 ---------------------------- p.1
   1.1 薄膜トランジスタ（TFT)とはなにか
   1.2 TFT発展の歴史
2. TFTの動作原理 ------------------- p.11
   2.1 基本的な動作原理
   2.2 基礎知識
   2.3 トラップ準位
   2.4 より詳しい動作原理
   2.5 種々のTFT
3. TFT作製技術 --------------------- p.75
   3.1 トップゲート構造及びボトムゲート構造
   3.2 水素化非晶質シリコン作製技術
   3.3 多結晶シリコンTFT作製技術
   3.4 有機TFT作製技術
   3.5 酸化物TFT作製技術
4. 評価技術 ------------------------- p.134
   4.1 膜厚
   4.2 構造評価技術
   4.3 組成分析
   4.4 光学評価
   4.5 電気特性
5. TFTの劣化現象と信頼性評価技術 ------ p.176
   5.1 非晶質シリコンTFTにおける劣化現象
   5.2 低温多結晶シリコンTFTにおける劣化現象
   5.3 酸化物TFTにおける劣化現象
6. TFTの応用技術 --------------------- p.188
   6.1 TFTのディスプレイ応用
   6.2 TFTのセンサ応用
7. TFTの将来技術 --------------------- p.211
   7.1 映像ディスプレイ用TFT技術の将来
   7.2 フレキシブルディスプレイ用TFT技術の将来

執筆者（五十音順，所属は2008年9月現在）